放大倍数 | 光学18-46X,数字放大20-200倍 | 仪器尺寸 | 550mm*760mm*635* |
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分析软件 | 同时分析23个镀层,24种元素 | 微光聚焦技术 | 最近测距光斑扩散度小于10% |
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XD-1000是一款全元素上照式荧光光谱仪,可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚,可选配自动平台实现XYZ轴编程位移,实现无人值守多点测量,测量软件置入的EFP算法及解谱技术,解决了诸多业界难题。
被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。
1)搭载微聚焦加强型X射线发生器和的光路转换聚焦系统
2)拥有无损变焦检测技术,手动变焦功能,可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-90mm
3)核心EFP算法,可对多层多元素,包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析(钕铁硼磁铁上Ni/Cu/Ni/FeNdB,检测层Ni和第三层Ni的厚度)
4)配备高精密微型移动滑台,可实现多点位、多样品的位移和同时检测
5)涂镀层分析范围:锂Li(3)- 铀U(92)
6)成分分析范围:硫S(16)/铝Al(13)- 铀U(92)
7)人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作
8)四准直器可选,小测量面积可达0.03mm
9)配有微光聚集技术,近测距光斑扩散度小于10%